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| ¼¤¹â¹¦ÂÊ | 6KW-120KW(¿ÉÑ¡) | 6KW-120KW(¿ÉÑ¡) | 6KW-120KW(¿ÉÑ¡) |
| XYÖᶨλËÙ¶È | X:117m/min | X:117m/min | X:117m/min |
| Y:95m/min | Y:95m/min | Y:95m/min | |
| XYÖᶨλ¾«¶È | ±0.03mm/m | ±0.03mm/m | ±0.03mm/m |
| XYÖá³Á¸´¶¨Î»¾«¶È | ±0.03mm | ±0.03mm | ±0.03mm |
| B5Öᶨλ¾«¶È | ±0.1° | ±0.1° | ±0.1° |
| ×î´ó¼Ó¿ì¶È | 1.4G | 1.4G | 1.4G |
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